抽送泥浆、杂质时,对泵磨损甚微;气动单向隔膜泵无旋转部件,没有轴封,隔膜等抽送的介质与泵的运动部件、工件介质完全隔开,所输送的介质不会向外泄漏。所以抽送有毒、易挥发或腐蚀性介质时,不会造成环境污染和危害人身安全;
抽送泥浆、杂质时,对泵磨损甚微;气动单向隔膜泵无旋转部件,没有轴封,隔膜等抽送的介质与泵的运动部件、工件介质完全隔开,所输送的介质不会向外泄漏。所以抽送有毒、易挥发或腐蚀性介质时,不会造成环境污染和危害人身安全;气动单向隔膜泵结构简单、易损件少,该泵结构简单,安装、维修方便,泵输送的介质不会接触到配气阀,联杆等运动部件,不像其他类型的泵因转子、活塞、齿轮、叶片等部件的磨损而使性能逐步下降;使用方便、工作可靠、开停只需简单地打开和关闭气体阀门,即使由于意外情况而长时间无介质运行或突然停机泵也不会因此而损坏,一旦**负荷,泵会自动地停机,具有自我保护性能,当负荷恢复正常后,又能自动启动运行;
分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。
不使用动力电源,可在易燃、易爆场所中使用,安全可靠。可以浸没在介质中代替潜水泵抽送液体。开、停泵时,只需打开和关闭气体阀门即可操作。即使由于意外情况而长时间无介质抽送或突然停机,泵也不会因此而损坏。
由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。如图:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水环的上部内表面刚好与叶片*接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。
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